波谱分析和能谱分析的比较
波谱分析和能谱分析均能进行微区分析，波谱分析发展较早，但进展不大；近年来能谱分析成为微区分析的主要手段。两种方法比较如下： R#I Om:?t1通常的能谱仪对入射X射线的吸收无法探测到超轻元素的特征X射线，但近年老出现的单窗口轻元素探测器，可同波谱仪探测器一样探测范围从B（5）到U（92），甚至还可探测Be。oj.~&~G|dS#Fe
2能谱仪接受信号范围宽，需时短。y$E(Zf_&r
3波谱仪的几何收集效率和量子效率均低于能谱仪。n5__ p9N a v2H
4能谱仪造价比波谱仪低，且操作简便。
5能谱仪检测器的分辨率较低，谱峰重叠严重，信噪比较差。 [jwCu
6能谱中存在失真，是分析误差的来源；波谱中失真较少。J5r v1d[m4M)H vQ
7由于能谱仪的一些问题引起分析误差，导致数据处理的复杂性；波谱仪的数据处理相对比较简单。;Xw x L.e!G]5EI
8波谱仪和能谱仪的空间分辨率基本相同。
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