柱流失物的主要质谱碎片来源解释
污染列表vO)UJ{$yY I5MV离子（m/z） 化合物 可能来源
18，28，32，44 H2O,N2,O2,CO2 残留的空气、水、漏气、密封圈脱气 I_ l#g(b+W m
或14，16 或N,O4w(e+S)G)@4~7k$m
31,51,69,100,119,131, PFTBA和有关离子 PFTBA（调谐）4` o$j9Xti
169,181,214,219,264,
376,414,426,464,502, G#A(A:z _
576,614
31 甲醇 清洗溶剂`~h5\6q
43,58 丙酮 清洗溶剂8q/U%Y| d+@
78 苯 清洗溶剂
91,92 甲苯 清洗溶剂
105,106 二甲苯 清洗溶剂
151,153 氯仿 清洗溶剂0[#{2Uz#a:]
69 前级泵油或PFTBA 前级泵油蒸汽或校正阀漏气Em|].E#B@3kV
73,147,207,221,281, 二甲苯硅氯烷 隔垫或柱流失(b:P7I ~ T!y U-gT sR8?
295,355,429
77,94,115,141,168, 扩散泵油及相关离子 扩散泵液)pJ [9iJ+\
170,262,354,446
149 增塑剂（苯二甲酸酯类） 高温下真空密封（O型圈）损坏
间隔n14离子 烃类 指纹、前级泵油 ?
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